超精密加工技術(shù)是20世紀(jì)60年代提出的,它是提高機電產(chǎn)品性能、質(zhì)量、工作壽命和可靠性,以及節(jié)術(shù)櫛能的重要途徑,超精密加工是指加工誤差小于0.1m ,表面粗糙度小于Ra0.025Ixm的加工技術(shù),也稱為亞微米級加工,超精密加工技術(shù)水平是一個國家制造工業(yè)水平的重要標(biāo)志之一。
超精密加工中除了液壓、氣壓源的波動外,工作環(huán)境對加工質(zhì)量的影響很大,因此,工作環(huán)境是保證加工質(zhì)量的必要條件,工作環(huán)境主要有溫度、凈化和防振等方面的要求。環(huán)境溫度變化對機床精度的影響尤為顯著,包括環(huán)境溫度變化在內(nèi)的熱因素引起的加工誤差占總加工誤差的(40 70)%灰塵的混入會使工件表面劃傷,而影響其表面質(zhì)量;加工過程中如發(fā)生振動,會使工件已加工表面上出現(xiàn)條痕或布紋狀痕跡,使表面光潔度顯著下降。
隨著超精密加工精度要求越來越高,對加工環(huán)境的要求越來越嚴格,僅從影響超精密加工精度的供氣壓力波動,環(huán)境溫度變化,外界和自身振動三方面進行了分析,影響超精密加工精度的因素是多方面的,要提高超精密加工精度,不但要了解其影響的因素,還必須掌握解決途徑
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